臭氧具有很強的氧化力，目前是已知最強的氧化劑之一。 臭氧在污水處理中的用途是最廣泛的，其原理都是利用的臭氧的強氧化性。臭氧分解后，分解為氧氣。
污水處理臭氧發生器因濃度需求，一般多采用氣隙放電法;它的耗電量較高，因此也不可避免器件溫度升高;而影響臭氧產生和設備壽命的主要因素就是器件升溫，所以需要冷卻來穩定性能;風冷與水冷是主要的冷卻手段，也有少數選擇通過冷氣源來處理升溫現象;但是具體采用哪種方式，還是需要由設備設計來決定。
臭氧具有極強的氧化能力，因此具有極強的殺菌作用、脫色、脫臭、脫味作用及分解作用。
殺菌可用于：上、下水，游泳池水，飲料水等的殺菌消毒;食品貯藏室內殺菌消毒：醫院、學校、幼兒園、辦公室、食品加工廠、制藥廠等空氣凈化;器具類殺菌消毒，醫院污水、生活污水的殺菌消毒等等。
脫色、脫臭、脫味作用可用于：印染廢水脫色、糞便處理、給排水的脫色除味、養殖場除臭等，下水道的凈化脫臭。
氧化：無機物的氧化，水中陳鐵、錳，含氰廢水的處理，礦石處理等。有機物氧化分解，市政、工業（石化、焦化、電廠）廢水處理，微污染水處理，COD消除等，表面活性化，表面屬性(炭黑表面屬性、纖維表面屬性、塑料表面屬性)，香料的合成，改變結構等。內燃機燃燒劑，火箭氧化劑等。
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